Труды КНЦ. Технические науки. – 2026. - № 2

Это свойство параметра SLR представляет его эффективным инструментом для управления близко- и дальнодействующим эффектами и адаптивного анализа качества модифицированного поверхностного слоя: в зависимости от целей контроля и требований к поверхностям детали можно выбирать соответствующую степень чувствительности без необходимости повторного измерения данных. Зависимость интегрального критерия равномерности модифицированного поверхностного слоя G slr от параметра SLR представлена на рис. 3. Рост значения G slr с увеличением SLR отражает повышение чувствительности к локальным неоднородностям модифицированного поверхностного слоя в результате проявления близкодействующего эффекта, что позволяет выявлять дефекты различного масштаба. Дополнительно отображена кривая, учитывающая осцилляции локальных перепадов, возникающих при неравномерном распределении плотности дислокаций в поверхностном слое в результате проявления дальнодействующего эффекта. Это дает возможность более точно интерпретировать чувствительность критерия к микронеоднородностям. о.зо - — 2 ѵ £ 3W]а 0.25 0.20 0.15 0.10 0.05 0.00 ___________ 1________ 1 ________ ---- Модель насыщения • Средние значения ..................... - а FT " — ■ с> J у J / // ц / / * и р а а а і і 1 2 4 Степень локального реагирования (SLR) Рис. 3. График зависимости интегрального критерия равномерности модифицированного поверхностного слоя GSLRот степени локального реагирования SLR Fig. 3. Dependence o f the integral criterion of uniformity o f the modified surface layer on the degree of local SLR response Р е зу л ь т а ты Проведено численное моделирование пространственного распределения толщины модифицированного поверхностного слоя в результате проявления близко- и дальнодействующего эффектов с учетом геометрии деталей, параметров ионного потока и температурных условий. Расчетные данные сопоставлены с результатами независимых экспериментов, выполненных методами XPS и GD-OES. Оценка равномерности покрытия воздействия выполнена с использованием предложенного интегрального критерия на основе степени локального реагирования. Дополнительно проведен анализ чувствительности модели к варьированию технологических параметров, включая давление, напряжение, плотность тока, скорость вращения и продолжительность обработки.