Труды КНЦ. Технические науки. – 2026. - № 2

Научная статья УДК 537(525+533.9)+519.6 doi:10.37614/2949-1215.2026.17.2.015 ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПАРАМЕТРА SLR ДЛЯ ОЦЕНКИ ЛОКАЛЬНОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ МОДИФИЦИРОВАННОГО СЛОЯ НА ПОВЕРХНОСТЯХ СЛОЖНОЙ ФОРМЫ ПРИ ОБРАБОТКЕ В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ Аслан Адальбиевич Татарканов1, Владимир Александрович Логвин2, Сергей Александрович Шептунов 3 13Институт конструкторско-технологической информатики РАН, Москва, Россия 2Белорусско-Российский университет, Могилёв, Республика Беларусь 1tatarkanov@mail.ru, https://orcid.org/0000-0001-7334-6318 2logvinvladim@yandex.ru, https://orcid.org/0009-0008-9870-7739 3ship@ikti.org.ru Аннотация С использованием информационных технологий реализован параметрический подход к оценке неоднородности модифицированного поверхностного слоя на заготовках сложной формы, основанный на применении степени локального реагирования (SLR — Sensitivity Level for Response). Изменение чувствительности критерия к локальным вариациям глубины модифицированного слоя позволяет количественно оценивать степень его однородности. Предлагаемый подход обеспечивает избирательный учет экстремальных дефектов, критичных для функционального состояния рабочих сопрягаемых поверхностей в прецизионных изделиях, и в этом отношении он обладает большей информативностью по сравнению с традиционными дисперсионными характеристиками. При построении модели использован вариационный формализм, учитывающий геометрию объекта, пространственное распределение ионного потока и эффект экранирования. Проведено численное моделирование для сферических заготовок, выполнено сопоставление расчетных данных с результатами экспериментальных измерений методами XPS и GD-OES, а также проанализирована чувствительность модели при различных режимах обработки в тлеющем разряде. Полученные результаты демонстрируют высокую точность модели (MAE = 10,4 нм, R2= 0,96) и подтверждают практическую применимость предложенного подхода для оптимизации технологических режимов и построения систем контроля качества при обработке поверхностей сложной формы. Ключевые слова: ионно-плазменная модификация, однородность модифицированного слоя, степень локального реагирования (SLR), толщина модифицированного слоя, плазменная обработка, тлеющий разряд, контроль качества, детали сложной формы, XPS, GD-OES Для цитирования: Татарканов А. А., Логвин В. А., Шептунов С. А. Использование параметра SLR для оценки локальной неоднородности модифицированного слоя на поверхностях сложной формы при обработке в тлеющем разряде // Труды Кольского научного центра РАН. Серия: Технические науки. 2026. Т. 17, № 2. С. 160-176. doi:10.37614/2949-1215.2026.17.2.015 Original article USING THE SLR PARAMETER TO ASSESS LOCAL HETEROGENEITY OF THE MODIFIED LAYER ON COMPLEX-SHAPED SURFACES DURING GLOW DISCHARGE PROCESSING Aslan A. Tatarkanov1, Vladimir A. Logvin2, Sergey A. Sheptunov 3 13Institute o f Design-Technological Informatics of the RAS, Moscow, Russia 2Belarusian-Russian University, Mogilev, Republic of Belarus 1tatarkanov@mail.ru, https://orcid.org/0000-0001-7334-6318 2logvinvladim@yandex.ru, https://orcid.org/0009-0008-9870-7739 3ship@ikti.org.ru Abstract Using information technologies, a parametric approach to assessing the heterogeneity of a modified surface layer on complex-shaped workpieces has been implemented based on the use of the Sensitivity Level for Response (SLR). Varying the sensitivity of the criterion to local changes in the depth of the modified layer makes it possible to quantitatively evaluate the degree of its uniformity. The proposed approach provides selective accounting of extreme defects that are critical for the functional state of working mating surfaces in precision products and is