Труды КНЦ. Технические науки.

Модель может быть использована для оптимизации режимов плазменной обработки в условиях тлеющего разряда, а также при проектировании новых технологических процессов прецизионной модификации конструкционных материалов. Список источников 1. Rebrov E. V., Kim D. S., Ivanov S. M. Optimization of plasma-assisted surface treatment technologies for complex shaped parts // Surface & Coatings Technology. 2022. Vol. 426. P. 127766. D0I:10.1016/j.surfcoat.2021.127766 2. Sundararajan G., Rao D. N., Prasad K. Thermal spray and plasma coating technologies: state-of-the-art and future trends // Surface & Coatings Technology. 2018. Vol. 349. P. 610-631. D0I:10.1016/j.surfcoat.2018.05.070 3. Wang L., Xu J., Zeng X. Review on optimization of plasma surface modification in advanced manufacturing // Intern. J. Adv. Manufacturing Technol. 2022. Vol. 120, No. 5. P. 1847-1860. D0I:10.1007/s00170-021-08042-6 4. Impact of geometric form and incident ion angle on coating uniformity in plasma modification / Y. Zhou [et al.] // Plasma Chemistry and Plasma Processing. 2022. Vol. 42. P. 841-857. D0I:10.1007/s11090-022-10247-2 5. Effect o f ion energy on the microstructure and properties of titanium nitride thin films deposited by HPPMS / D. Ma [et al.] // Coatings. 2021. Vol. 11, No. 5. P. 579. D0I:10.3390/coatings11050579 6. Chung C. K., Chen Y. C. Plasma-induced surface modification for microelectromechanical systems // Thin Solid Films. 2007. Vol. 515, No. 10. P. 4497-4501. D0I:10.1016/j.tsf.2006.11.029 7. Effect o f plasma treatment on titanium surface microhardness and wear resistance / K. Lang [et al.] // J. Appl. Phys. 2023. Vol. 133, No. 6. Article ID: 065303. D0I:10.1063/5.0133852 8. Application of advanced surface modification techniques in titanium implants: strategies for antibacterial and osseointegration enhancement / P. Yuan [et al.] // J. Mater. Chem. B. 2024. Vol. 12. P. 10516-10549. D0I:10.1039/D4TB00436K 9. A comprehensive review of surface modification techniques for enhancing the biocompatibility of 3D printed titanium implants / S. Long [et al.] // Coatings. 2023. Vol. 13, No. 11. Article ID: 1917. D0I:10.3390/coatings13111917 10. Lieberman M. A., Lichtenberg A. J. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. 2nd ed. Hoboken: Wiley, 2005. 728 p. 11. Tolk N. H., Ruzic D. N. Resonance-enhanced damage in crystal lattices under ion bombardment // Springer Handbook o f Surface Science / eds. H. Luth [et al.]. Berlin: Springer, 2020. P. 313-328. D0I:10.1007/978-3-662-56925-1_9 12. Resonant striations in RF plasma due to ion-ion frequency matching / Y. Liu [et al.] // J. Vacuum Sci. & Technol. A. 2016. Vol. 34, No. 2. P. 021302. D0I:10.1116/1.4942009 13. Логвин В. А., Терешко И. В., Шептунов С. А. Изменение дислокационной структуры a-Fe в результате воздействия тлеющего разряда // Вестник Брянского государственного технического университета. 2018. № 3. С. 47-56. 14. Логвин В. А., Терешко И. В., Шептунов С. А. Использование тлеющего разряда для изменения дислокационной структуры быстрорежущей стали // Наукоемкие технологии в машиностроении. 2018. № 12. С. 21-27. 15. Логвин В. А., Терешко И. В., Шептунов С. А. Изменение дислокационной структуры металлов после воздействия тлеющего разряда // Металлообработка. 2018. № 6. С. 45-51. 16. ЛогвинВ . А. Формирование спектра энергетического воздействия плазмытлеющего разряда в автоматизированной технологической среде // Перспективные направления развития технологий машиностроения и металлообработки: тез. докл. 34-йМеждунар. науч.-техн. конф. (Минск, 28 марта 2019 г.) / отв. ред. В. К. Шелег. Минск: Бизнесофсет, 2019. С. 115-116. 17. Logvin V. A., Yakhutlov U. M. Using photodiodes and inductive sensors in the automated control system and management quality when processing tools in a glow discharge // Proc. 2017 Intern. Conf. “Quality Management, Transport and Information Security, Information Technologies” (IT&QM&IS). 2020. References 1. Rebrov E. V., Kim D. S., Ivanov S. M. 0ptimization o f plasma-assisted surface treatment technologies for complex shaped parts. Surface & Coatings Technology, 2022, Vol. 426, рp. 127766. D0I:10.1016/j.surfcoat.2021.127766 2. Sundararajan G., Rao D. N., Prasad K. Thermal spray and plasma coating technologies: state-of-the-art and future trends. Surface & Coatings Technology, 2018, Vol. 349, pp. 610-631. D0I:10.1016/j.surfcoat.2018.05.070 3. Wang L., Xu J., Zeng X. Review on optimization of plasma surface modification in advanced manufacturing. Intern. J. Adv. Manufacturing Technol., 2022, Vol. 120, No. 5, pp. 1847-1860. D0I:10.1007/s00170-021-08042-6 4. Zhou Y., Wang H., Zuo Q., Tang W. Impact of geometric form and incident ion angle on coating uniformity in plasma modification. Plasma Chemistry and Plasma Processing, 2022, Vol. 42, pp. 841-857. DOI:10.1007/s11090- 022-10247-2

Труды КНЦ. Технические науки. – 2026. - № 2