Труды КНЦ. Технические науки. – 2026. - № 2

Yt — коэффициент температурной чувствительности процесса; Т і (u, v) — локальная температура поверхности в точке (u, v). Толщина модифицированного поверхностного слоя в каждой точке поверхности зависит не только от флюенса, то есть числа ионов, достигших поверхности, но и от эффективности их воздействия, угла падения, температурных эффектов, а также локальных особенностей геометрии и параметров плазмы. Коэффициент y t Т (u, v) описывает влияние локального температурного режима, формируемого в результате длительного воздействия ионов высокой энергии. В условиях тлеющего разряда, особенно при высоком давлении или плотности тока, поверхность заготовки может локально в микрообъемах нагреваться до температур порядка 3000-4000 °К. Это приводит к испарению микрочастиц материала с обрабатываемой поверхности и образцов испарителей, расположенных на катодном столе, что существенно влияет: • на состав ионов в плазме (дополнение газовых ионов ионами металлов); • на энергетическую структуру потока (за счет рекомбинации и переускорения); • на эффективность модификации (например, при микролегировании поверхностного слоя). Визуализация этого распределения представлена в виде цветовой карты (рис. 1), где локальные неоднородности выделены красными окружностями (для удобства идентификации зон с критическими перепадами). Карта служит наглядным инструментом для анализа равномерности процесса воздействия и дальнейшей оптимизации технологического процесса, учитывая сложную геометрию заготовки и специфические условия воздействия. 0.00 0.25 0.50 0.75 1.00 1.25 1.50 1.75 2.00 Параметр и Рис. 1. Карта распределения толщины модифицированного поверхностного слоя заготовки с выделением локальных неоднородностей красным цветом Fig. 1. Map of the thickness distribution of the modified surface layer of the workpiece with the highlighting of local inhomogeneities in red