Труды КНЦ (Технические науки вып.2/2025(16))

чего величина плотности тока практически не меняется до конца процесса (ta = 1 ч). На следующем этапе методом АСМ было проведено исследование морфологии поверхности ПАОП (рис. 1, а). Видно, что на поверхности ПАОП наблюдается слабоупорядоченный пористый рельеф с эффективным диаметром открытых пор <dp> = (11 ± 4) нм, что согласуется с данными [11]. Некоторые фрагменты оксидной пленки удалось отделить от подложки и сделать оценку толщины АОП, результаты которой показали, что толщина ПАОП не превышает 500 нм. Кроме того, часть АОП была отделена от подложки с помощью скотча, что позволило провести изучение рельефа поверхности барьерного слоя. Было установлено, что на поверхности барьерного слоя присутствуют ячейки с эффективным диаметром <DC> = (45 ± 15) нм. Рентгенографирование образцов фольги до и после формирования ПАОП показало присутствие на рентгенограммах лишь отражений от металлической подложки, дополнительных отражений от других фаз не было выявлено. Данный факт позволяет предположить, что синтезированные ПАОП являются рентгеноаморфными. а[ 8 яг s Й і ? я я о о Рис. 1. АСМ-изображения поверхности: пористого слоя АОП, полученных в 1 МH2SO4 + 1 % HF, Ua= 20 В, ta= 60 мин (а); БАОП, полученной в ФКЭ, ja = 1 мА/см2, ta= 60 мин, Ua = 100 В (б) При росте Ua происходит и изменение цвета образовавшейся в ФКЭ пленки: от зеленого (80 В) и розоватого (100, 200 В) до серого (300 В), что соответствует увеличению толщины БАОП. Как следует из [12], постоянная роста (а) оксидной пленки для аналогичных условий имеет значение а = 2,5 нм/В, тогда толщина БАОП, сформированных в ФКЭ, должна увеличиваться с ростом напряжения от 200 до 750 нм. Как видно из рис. 2, все зависимости Ua(t) носят линейный характер, типичный для синтеза БАОП. Для напряжений от 80 до 300 В скорость роста напряжения практически одинакова (<dUJdt> ~ 0,18 В/с), но при увеличении Ua до 250 В на Ua(t) появляются скачки напряжения (рис. 2, кривые 4 и 5). 300 г Труды Кольского научного центра РАН. Серия: Технические науки. 2025. Т. 16, № 2. С. 23-29. Transactions of the Kola Science Centre of RAS. Series: Engineering Sciences. 2025. Vol. 16, No. 2. P. 23-29. 200 Ua,B 100 ta.C Рис. 2. Зависимости Ua(t) для БАОП, полученных в ФКЭ при различных Ua, В : 1 — 80; 2 — 100; 3 — 200; 4 — 250; 5 — 300 © Яковлева Н. М., Горбачева А. А., Степанова К. В., Чупахина Е. А., Кокатев А. Н., Шульга А. М., 2025 25