Труды КНЦ (Технические науки вып.2/2023(14))

Таким образом, на этапе синтеза порошков заданного фазового состава установлено, что наиболее совершенной и устойчивой структурой обладают порошки ^ZnT isO s, полученные при температуре синтеза 1200 °С. При этом наблюдается активная рекристаллизация с формированием закрытой пористости, но в производстве LTCC-керамики используют порошки с площадью удельной поверхности 8000 см2/г и более. В связи с этим, после синтеза порошков заданного фазового состава требовалось их измельчение. Гранулометрический состав порошка, измельченного в течение 24 ч, представлен на рис. 3. Труды Кольского научного центра РАН. Серия: Технические науки. 2023. Т. 14, № 2. С. 56-60. Transactions of the Коіа Science Centre of RAS. Series: Engineering Sciences. 2023. Vol. 14, No. 2. P. 56-60. Размер частиц А мкм Рис. 3. Распределение частиц порошка Li2ZnTi3Os по размерам Согласно полученным данным, распределение частиц по размерам имеет бимодальный характер, что в данном случае не критично. Фракционный состав порошка представлен преимущественно частицами от 1,0 до 5,2 мкм. При этом площадь удельной поверхности частиц составляет 9200 см2/г. Указанный гранулометрический состав полностью отвечает требованиям, предъявляемым к порошкам для LTCC-технологии. Заключение Исследован ход фазовых превращений в интервале 900-1200 °С при синтезе соединения Li 2 ZnTi 3 O8по спековой технологии. Установлено, что синтез при 1200 °С позволяет получить монофазный термически стабильный порошок с совершенной микроструктурой. Последующее измельчение спека позволяет сформировать гранулометрический состав порошка, отвечающий всем требованиям для шихт, используемых в технологии низкотемпературной сообжиговой керамики, а именно достичь площади удельной поверхности частиц 9200 см2/г. Полученный порошок перспективен для создания на его основе таких микроэлектронных компонентов, как фильтры, резонаторы и монополи по технологии LTCC. Список источников 1. Sebastian M. T. Dielectric Materials for Wireless Communication. Elsevier Science. 2008. P. 688. 2. Imanaka Y. Multilayered low temperature cofired ceramics (LTCC) technology. Springer Science & Business Media, 2005. 252 p. 3. George S., Sebastian, M. T. Low-Temperature Sintering and Microwave Dielectric Properties of Li2ATi3O8 (A = Mg, Zn) Ceramics. International Journal of Applied Ceramic Technology. 2011. Vol. 8, Iss. 6. P. 1400-1407. 4. Черных В., Чигиринский С. Направления развития изделий из специальной керамики для производства электронной техники в России. ЗАО Остек степень интеграции. 2012. № 7. С. 4-7. 5. Кондратюк Р. LTCC — низкотемпературная совместно обжигаемая керамика. Наноиндустрия. 2011. № 2. С. 26-30. 6. Imanaka Y. Material Technology of LTCC for High Frequency Application // Material Integration. 2002. Vol. 15, № 12. P. 44-48. 7. Liu C. Y. et al. Influence of B 2 O 3 additive on microwave dielectric properties of Li2ZnTi3O8 ceramics for LTCC applications // International Journal ofApplied Ceramic Technology. 2013. Iss. 10. P. E49-E56. 8. Zitani M. K. et al. Microstructural and microwave dielectric properties of LZT (Li2ZnTi3O8) ceramics sintered in presence of bismuth borate glass for LTCC applications // Ceramics International. 2018. Iss. 44, № 4. P. 4016-4026. 9. Hou M. et al. Low-temperature firing and microwave dielectric properties of LBS glass-added Li2ZnTi3O8 ceramics with TiO 2 // Journal ofMaterials Science: Materials in Electronics. 2012. № 23. P. 1722-1727. 10. Хусаинов И. Н., Вершинин Д. И., Макаров Н. А. Влияние условий синтеза на фазовый состав порошков в системе Li 2 O-ZnO-TiO 2 // Успехи в химии и химической технологии. 2020. Т. 34, № 5. С. 100-102. 11. Arun S., Sebastian M. T., Surendran K. P. Li2ZnTi3O8 based high K LTCC tapes for improved thermal management in hybrid circuit applications // Ceramics International. 2017. V. 43, №. 7. P. 5509-5516. © Вершинин Д. И., Поскотинова А. М., Шургая Н. С., 2023 59