Труды КНЦ (Технические науки вып.2/2023(14))

Труды Кольского научного центра РАН. Серия: Технические науки. 2023. Т. 14, № 2. С. 56-60. Transactions of the Kola Science Centre of RAS. Series: Engineering Sciences. 2023. Vol. 14, No. 2. P. 56-60. Научная статья УДК 666.651.4 doi:10.37614/2949-1215.2023.14.2.009 ПОЛУЧЕНИЕ ПОРОШКОВ ЗАДАННОГО ФАЗОВОГО И ГРАНУЛОМЕТРИЧЕСКОГО СОСТАВА В СИСТЕМЕ Li2O-ZnO-TiO2 ДЛЯ LTCC-ТЕХНОЛОГИИ Дмитрий Игоревич Вершинин1, Анастасия Михайловна Поскотинова2, Никита Сергеевич Шургая 3 12 3Российский химико-технологический университет имени Д. И. Менделеева, Москва, Россия 1D.I. Vershinin@yandex.ru Аннотация Получен порошок соединения Li2ZnTi3O8 по спековой технологии. Установлено, что синтез при 1200 °С позволяет получить монофазный термически стабильный порошок с совершенной микроструктурой. Гранулометрический состав порошка после измельчения отвечает всем требованиям, предъявляемым к порошкам, используемым в технологии низкотемпературной сообжиговой керамики. Полученный порошок перспективен для создания на его основе таких микроэлектронных компонентов, как фильтры, резонаторы и монополи по технологии LTCc. Ключевые слова: керамические диэлектрики, LTCC, Li 2 O-ZnO-TiO 2 , Li2ZnTi3O8, фазовые превращения, гранулометрический состав Для цитирования: Вершинин Д. И., Поскотинова А. М., Шургая Н. С. Получение порошков заданного фазового и гранулометрического состава в системе Li 2 O-ZnO-TiO 2 для LTCC-технологии // Труды Кольского научного центра РАН. Серия: Технические науки. 2023. Т. 14, № 2. С. 56-60. doi:10.37614/2949-1215.2023.14.2.009 Original article OBTAINING POWDERS OF A SET PHASE AND GRANULOMETRIC COMPOSITION IN THE Li2O-ZnO-TiO2 SYSTEM FOR LTCC-TECHNOLOGY Dmitry I. Vershinin1, Anastasia M. Poskotinova2, Nikita S. Shurgaya 3 12■3Mendeleev University of Chemical Technology, Moscow, Russia 1D.I.Vershinin@yandex.ru Abstract In this work, the powder of the compound Li2ZnTi3O8 was obtained by sintering technology. It is established that the synthesis at 1200 °С allows to obtain a monophase thermally stable powder with a perfect microstructure. The granulometric composition of the powder after grinding m eets all the requirem ents for powders used in the technology of low-temperature co-firing ceramics. The resulting powder is promising for creating microelectronic components based on it, such as filters, resonators and monopoles using LTCC technology. Keywords: ceramic dielectrics, LTCC, Li 2 O-ZnO-TiO 2 , Li2ZnTi3O8, phase transformations, granulometric composition For citation: Vershinin D. I., Poskotinova A. M., Shurgaya N. S. Obtaining powders of a set phase and granulometric composition in the Li 2 O-ZnO-TiO 2 system for LTCC-technology // Transactions of the Коіа Science Centre of RAS. Series: Engineering Sciences. 2023. Vol. 14, No. 2. P. 56-60. doi:10.37614/2949-1215.2023.14.2.009 Введение Активное внедрение керамики в радиоэлектронные устройства стало возможно благодаря технологии низкотемпературного сообжига (LTCC), которая позволила снизить стоимость и улучшить характеристики электронных компонентов, таких как многослойные интегральные схемы, фильтры, резонаторы, монополи и др. [1, 2]. Низкотемпературная технология предполагает проведение обжига керамической составляющей и формирование прочного контакта между керамикой и металлизацией в одну стадию, то есть сообжиг керамики и металлизации. В качестве проводящего слоя используется серебро, золото, платина или их сплавы, при этом сообжиг производят при температурах ниже температуры плавления указанных металлов, как правило, ниже 961 °С. Поэтому используемая керамика должна спекаться также при температуре менее 961 °С. Одной из тенденций при производстве электронных компонентов является их миниатюризация, которая зависит от относительной диэлектрической проницаемости материала Sr[1, 2]. В связи с этим научные исследования направлены на синтез соединений, демонстрирующих значения Sr> 20 и при этом спекающихся при температуре менее 961 °С. Наиболее перспективными являются, например, соединения системы © Вершинин Д. И., Поскотинова А. М., Шургая Н. С., 2023 56