Труды КНЦ (Технические науки вып.2/2023(14))

Труды Кольского научного центра РАН. Серия: Технические науки. 2023. Т. 14, № 2. С. 254-258. Transactions of the Kola Science Centre of RA s . Series: Engineering Sciences. 2023. Vol. 14, No. 2. P. 254-258. Таблица 2 Данные из кинетических зависимостей роста ПЭО-покрытий № группы Ui, В ti, с Uf, В 1 54,70 ± 0,90 6,80 ± 0,40 204,00 ± 5,00 2 57,00 ± 3,00 7,29 ± 0,04 173,00 ± 4,00 3 68,90 ± 0,40 8,50 ± 0,30 156,00 ± 3,00 4 86,00 ± 3,00 5,60 ± 0,30 185,0 ± 1,00 СЭМ-изображения поверхности образцов разных групп представлены на рис. 2. Поверхность образцов первой и второй групп, сформированных в боратном электролите, имеет морфологию, близкую к орнаментальной (см. рис. 2 , а, б), в то время как на поверхности образцов третьей и четвертой групп, полученных в вольфраматных электролитах, наблюдаются скопления округлых образований микронных размеров (см. рис. 2, с, д). Морфология поверхности ПЭО-покрытий, сформированных в боратном электролите, изменяется в зависимости от длительности обработки, а значит, и от конечного напряжения (см. рис. 2, а , б ). Поверхность обоих покрытий пронизана порами. Следует отметить, что при более низких временах формирования поверхность покрытия крайне неоднородна (см. рис. 2, б ). Таким образом, анализ СЭМ-изображений показывает, что морфология поверхности образцов зависит как от электролита, так и от режима ПЭО-обработки. Рис. 2. С Э М -и зо б р а ж е н и я п о в е р х н о с ти р а зл и ч н ы х г р у п п П Э О -п о к р ы т и й н а н и о б и и : гр у п п а 1 (а ), гр у п п а 2 (б ), гр у п п а 3 (е), гр у п п а 4 (г) Более подробно были изучены морфология поверхности и элементный состав образцов первой и третьей групп. Поверхность образцов первой группы (рис. 3, а) пронизана порами диаметром от 3 до 10 мкм. Поры довольно равномерно распределены по поверхности. При большем увеличении (см. рис. 3, б) на поверхности и в порах видны как крупные частицы с линейными размерами 190-400 нм, так и близкие по форме наноразмерные объекты. Рис. 3. С Э М -и зо б р а ж е н и я у ч а с т ка п о в е р х н о с ти о бразц а гр у п п ы 1 Методом ЭДСА в составе покрытий обнаружено 76 ± 3 ат. % O и 24 ± 1 ат. % Nb. Соотношение O :Nb = 3.2 несколько больше, чем для стехиометрического Nb 2 O 5 , что может быть связано с наличием на поверхности адсорбированных кислородсодержащих соединений. Так, на отдельных участках поверхности, например в кристаллитах на рис. 3, б, присутствует до 50 ат. % C, который может входить в состав карбонатов, адсорбированного CO 2 или углеродсодержащих органических соединений [ 6 ]. На поверхности образцов третьей группы (рис. 4, а ) можно выделить две области: с большими порами (~ 6 мкм) и с достаточно малыми (~ 0,5 мкм). На снимках, выполненных при большем увеличении © Чубиева Е. С., Лукиянчук И. В., Васильева М. С., Будникова Ю. Б., Курявый В. Г., Яковлева Н. М., 2023 256