Труды КНЦ (Технические науки вып.1/2022(13))

Труды Кольского научного центра РАН. Серия: Технические науки. 2022. Т. 13, № 1. С. 271-277. Transactions of the to la Science Centre of RAS. Series: Engineering Sciences. 2022. Vol. 13, No. 1. P. 271-277. Рис. 4. АСМ-изображение различных участков поверхности монокристалла ниобия (001) после третьей стадии обработки Рис. 5. АСМ-изображение участка поверхности монокристалла ниобия (111) после третьей стадии Учитывая зависимость скорости растворения АОП от кристаллографической ориентировки монокристалла, можно предположить, что если на образцах МК (111) в результате отжига происходит практически полное растворение барьерного оксидного слоя, сформированного на первой стадии обработки, то на МК (001) процесс растворения кислорода идет медленнее, что создает возможности для локальной кристаллизации оксидной пленки в процессе отжига при данных условиях. Соответственно, на монокристаллах с растворенной оксидной пленкой, то есть с насыщенной кислородом поверхностью, при последующем анодировании во фторсодержащем электролите присутствие кислорода будет способствовать возникновению и развитию зародышей кристаллического оксида на границе металл / барьерный слой АОП [3]. На МК (001), для которых скорость растворения АОП меньше и в процессе вакуумного отжига возможна также локальная кристаллизация, дополнительно на фоне неоднородной нанотрубчатой поверхности будут наблюдаться также цветочноподобные микрокристаллиты. Однако для проверки этого предположения необходимы дополнительные исследования атомной структуры и морфологии. Таким образом, в данной работе впервые были получены данные об особенностях роста и морфологии оксидных пленок, сформированных во фторсодержащем электролите на монокристаллах Nb c предварительно насыщенной кислородом поверхностью. Показано, что предложенные условия обработки монокристаллов Nb позволяют получить анодно-оксидные пленки с иерархической микро/наноструктурой. Список источников 1. Karlinsey R. L. Self-assembled Nb 2 O 5 microcones with tailored crystallinity // J. Mater. Sci. 2006. V. 41. P. 5017-5020. 2. Zhao J., Wang X., Xu R., Mi Y., Li Y. Preparation and Growth Mechanism o f Niobium Oxide Microcones by the Anodization Method // Electrochem. Solid-State Lett. 2007. V. 10 (4). P. 31-33. © Чубиева Е. С., Яковлева Н. М., Степанова К. В., Кокатев А. Н., 2022 275