Труды КНЦ (Технические науки вып.1/2022(13))

Труды Кольского научного центра РАН. Серия: Технические науки. 2022. Т. 13, № 1. С. 271-277. Transactions of the Kala Science Centre of r A s . Series: Engineering Sciences. 2022. Vol. 13, No. 1. P. 271-277. на поверхности М К (001) и М К (111), дает значения 50* = (170 ± 20) нм. Однако визуально наблюдалось незначительное отличие оттенков АОП, полученных на монокристаллах разной ориентировки, что обусловлено, скорее всего, зависимостью постоянной роста и диэлектрической проницаемости АОП от кристаллографической ориентировки ниобиевой подложки [10]. Рис. 1. Зависимости Ua(t), полученные при анодировании монокристаллов Nb c ориентировками (111) и (001) в 1 0 % H 2 SO 4 (стадия 1 ) Рис. 2. АСМ-изображения участков поверхности монокристаллов ниобия с ориентировкой (001) (а, б) и ( 1 1 1 ) (в, г) после второй стадии обработки Вакуумный отжиг анодированных в 10 % H 2 SO 4 образцов вызвал изменение окраски, свидетельствующее о значительном уменьшении толщины АОП. Измерения емкости показали, что после вакуумного отжига при Т = 450 оС в течение 30 мин оксидная пленка на образцах практически отсутствует, то есть «растворилась» в подложке с формированием насыщенного кислородом поверхностного слоя [9]. На рис. 2 представлены АСМ-изображения поверхности анодированных в 10 % H 2 SO 4 монокристаллов ниобия после отжига. Видно, что после двух стадий обработки (см. таблицу) на поверхности М К (001) наблюдается присутствие многочисленных образований цветочноподобной © Чубиева Е. С., Яковлева Н. М., Степанова К. В., Кокатев А. Н., 2022 273