Труды КНЦ вып.4(ХИМИЯ И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ) вып. 3/2020(11)

Таблица 2 Скорость роста ПАОА при ГСР-ДСА алюминия в различных электролитах Группа образцов Электролит d 5/ dt , мкм/ч (первая стадия) d 5/ dt , мкм/ч (вторая стадия) 2 3 %-я С 2 Н 2 О 4 15 18 3 МКЭ - 25 Исследования поверхности пористого и барьерного слоев отделенных ПАОА методом АСМ показали, что оксид, сформированный на первой стадии ГСР-ДСА (рис. 2, а , г ), характеризуется слабоупорядоченной мезоструктурой с множеством дефектов и неоднородностей, на поверхности пористого массива (рис. 2, а ) наблюдается так называемый дефектный слой, отражающий состояние барьерного слоя ПАОА на стадии зарождения пор. Как следует из АСМ-изображений верхний дефектный слой частично закрывает регулярно-пористую структуру, на его поверхности наблюдаются отдельные выходы пор размером d n ~ (30-40) нм. На поверхности барьерного слоя ПАОА (рис. 2, г ) имеет место формирование слабоупорядоченной регулярно-ячеистой структуры с размером ячеек / Ли. ~ (145 ± 10) нм. Рис. 2. АСМ-изображения поверхности пористого ( а - в ) и барьерного ( г - з ) слоев ПАОА на различных стадиях процесса изготовления АОНМ: после первой ( а , г ) и второй ( б , д ) стадий анодирования алюминия в 3 %-й С 2 Н 2 О 4 ; после второй стадии анодирования алюминия в МКЭ ( в , е ); после утонения барьерного слоя ПАОА сформированного ГСР-ДСА алюминия в 3 %-й С 2 Н 2 О 4 (ж) и МКЭ ( з ) АСМ-изучение поверхности ПАОА, сформированных по методике ГСР-ДСА в 3 %-й С 2 Н 2 О 4 (рис. 2, б , д ) и МКЭ (рис. 2, в , е ), показало, что оксид характеризуется более высокой степенью открытости пор и порядком в расположении как пор, так и ячеек по сравнению с ПАОА, полученными на первой стадии анодирования. Это достигается за счет предварительного наноструктурирования поверхности металла и удаления на первой стадии анодирования поверхностного дефектного слоя металла. При ГСР-ДСА алюминия в 3 %-й С 2 Н 2 О 4 ПАОА 95