Труды КНЦ вып.4(ХИМИЯ И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ) вып. 3/2020(11)

а б Рис. 3. Морфология пленки, полученной при напряжении 110 В и времени оксидирования 360 мин, толщина 303 нм (а), и при напряжении 10 В и времени оксидирования 360 мин, толщина 29 нм (б) Рис. 4. Зависимость толщины пленки от напряжения анодирования в растворе H 3 PO 4 (0,28 M) Для времени оксидирования в интервале 15-60 мин зависимость толщины пленки от напряжения оксидирования выражается следующим уравнением у = 2,41x + 2,39, R 2 = 0,999, а при оксидировании в течение 6 ч описывается зависимостью у = 2,78 x + 1,19, R 2 = 0,998. Наблюдаемый цвет образцов, как результат интерференции света в тонких прозрачных пленках с показателем преломления света ( n (X)), соответствовал толщине пленки (d) с учетом порядка интерференционного экстремума ( k ) согласно формуле: 2 dn (!)cos( r ) = k X max . Цветовой спектр (гамма) повторяется три раза в интервале толщины пленки от 30 до 400 нм: 30-140/140-270/270-400 нм. Было установлено увеличение толщины / цвета пленки в зависимости от напряжения оксидирования (рис.4). Так, при E = 30 В все пленки имели толщину 74-77 нм и соответствующий этой толщине серо-голубой цвет во всем временном интервале 15-360 мин. А при E = 120 В толщина изменялась от 270 до 315 нм в зависимости от времени процесса. Как видно из рис. 5, длительность процесса слабо влияла на толщину пленки. 140