Труды КНЦ вып.4(ХИМИЯ И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ) вып. 3/2020(11)

Гольдберг Маргарита Александровна кандидат технических наук, Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова РАН, г. Москва, Россия, naiv.syper@gmail.com Смирнов Сергей Валерьевич младший научный сотрудник, Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова РАН, г. Москва, Россия, serega_smirnov92@mail.ru Антонова Ольга Алексеевна младший научный сотрудник, Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова РАН, г. Москва, Россия , osantonova@yandex.ru Obolkina Tatyana Olegovna PhD Student, Baikov Institute of Metallurgy and Materials Science, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia, tobolkina@imet.ac.ru Goldberg Margarita Alexandrovna PhD (Engineering), Baikov Institute of Metallurgy and Materials Science, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia, naiv.syper@gmail.com Smirnov Sergey Valerievich Junior Researcher, Baikov Institute of Metallurgy and Materials Science, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia, serega_smirnov92@mail.ru Antonova Olga Alekseevna Junior Researcher, Baikov Institute of Metallurgy and Materials Science, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia, osantonova@yandex.ru DOI: 10.37614/2307-5252.2020.3.4.030 УДК 621.794.61 ВЫБОР ПАРАМЕТРОВ СИНТЕЗА ПЛЕНОК ПЕНТАОКСИДА НИОБИЯ ОКСИДИРОВАНИЕМ В РАСТВОРЕ ФОСФОРНОЙ КИСЛОТЫ М. А. Окунев, А. Р. Дубровский, О. В. Макарова, С. А. Кузнецов Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им. И. В. Тананаева ФИЦ «Кольский научный центр РАН», Апатиты, Россия Аннотация Изучены возможности синтеза пленок пентаоксида ниобия методом анодного оксидирования в растворе фосфорной кислоты. Определены параметры процесса, при которых получены сплошные плотные пленки. Показано, что пленки толщиной от 30 до 400 нм можно получить в течение первых 15 мин процесса, варьируя напряжение. Ключевые слова: оксидирование, оксидные пленки, пентаоксид ниобия. SELECTION OF SYNTHESIS PARAMETERS FOR NIOBIUM PENTAOXIDE FILMS BY OXIDATION IN PHOSPHORIC ACID SOLUTION M. A. Okunev, A. R. Dubrovskii, O. V. Makarova, S. A. Kuznetsov Tananaev Institute of Chemistry and Technology of Rare Elements and Mineral Raw Materials of FRC “ Kola Science Centre RAS ” , Apatity, Russia Abstract The possibilities of synthesis of niobium pentoxide films by anodic oxidation were studied. The process parameters leading to the formation of coherent dense films were determined. It was shown that films with the thickness of 30 up to 400 nm can be obtained during the first 15 minutes of the process by varying the voltage. Keywords: oxidation, oxide films, niobium pentoxide. Введение В ходе наших предыдущих работ [1, 2] была создана конструкция ротора криогенного гироскопа. На первом этапе исследований была выбрана подложка ротора. Из потенциально возможных материалов наиболее перспективным оказался углеситалл [1]. На подложку из 137