Труды КНЦ вып.9 (ХИМИЯ И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ вып. 1/2018(9) Часть 2)

На рисунке 3 представлен интерференционный спектр отражения анодного оксида тантала. Спектр отражения оксида ниобия для диапазона от ближнего УФ до ИК аналогичен. Для нахождения недостающих в эксперименте интенсивностей минимальных или максимальных отражений интерференции, соответствующих минимальным или максимальным отражениям спектрофотометрической картины, находились уравнения огибающих экстремумов, по которым вычислялись недостающие величины для соответствующих длин волн. Рис. 3. Спектр отражения Та 20 5 , заформованного до 300 В На начальном этапе в нулевом приближении при к\ = 0 вычислялись показатель преломления п0 и толщина пленки для всех волн экстремумов. Для каждой длины волны численно с помощью итерационной процедуры решалась система из двух трансцендентных уравнений относительно п\ и к\ оксида по спектральным функциям из эксперимента и теоретическому спектру отражения. Дисперсия п и к приведена на рис. 4, а, б. По зависимости (a(v)hv )2 от hv (рис. 4, в) находили оптическую ширину энергетической щели. Эта величина равна 4,1 эВ для Та 2 0 5 и соответствует оценке по спектру фотопроводимости. Рис. 4. Дисперсия показателей: а — преломления; б — поглощения для Та 2 0 5; в — оценка ширины запрещенной зоны для прямых дипольных переходов 683