Труды КНЦ вып.9 (ХИМИЯ И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ вып. 1/2018(9) часть 1)

Заключение Показана возможность выплавки силицида CrsSi 3 , частично удовлетворяющего условиям УЛО.021.010 ТУ, на воздухе. Выявлено влияние материала тигля на состав выплавляемого сплава. На основании рентгенографического анализа и изучения SEM-данных при выплавке в графитовом тигле сплав в основном представляет фазу Crs-xSi 3 -zCx+z. При использовании корундового тигля кроме CrsSi 3 и небольшого количества фазы Cr 5 -xSi 3 -z Cx+zприсутствуют плохо проплавленный хром и кислород. Исследования по выплавке сплава, удовлетворяющего условиям УЛО.021.010 ТУ, следует продолжить. Литература 1. Пат. 2184164 Рос. Федерация, МПК 7 С 22 С 1/04, С 23 С 14/34. Способ изготовления изделий из сплава на основе кремния / Кузьмич Ю. В., Фрейдин Б. М., Серба В. И., Колесникова И. Г., Ворончук С. И., Тарасов А. А; Ин-т химии и технологии редких элементов и минер. сырья КНЦ РАН; ООО «РАМЕТ-М». № 2000117922/02; заявл. 10.07.2000; опубл. 27.06.2002, Бюл. № 18. 2. Колесникова И. Г., Коротков В. Г., Кузьмич Ю. В. Резистивный сплав системы Si-Ni-Ce для распыляемых мишеней / Металлы. 2016. № 3. С. 87-91. Сведения об авторах Коротков Владимир Геннадьевич ведущий технолог, Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им. И. В. Тананаева ФИЦКНЦ РАН, г. Апатиты, Россия Ворончук Сергей Иванович ведущий технолог, Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им. И. В. Тананаева ФИЦКНЦ РАН, г. Апатиты, Россия Яковлева Надежда Анатольевна Инженер, Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им. И. В. Тананаева ФИЦКНЦ РАН, г. Апатиты, Россия Кузьмич Юрий Васильевич кандидат химических наук, Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им. И. В. Тананаева ФИЦКНЦ РАН, г. Апатиты, Россия Korotkov Vladimir Gennadievich Leading Engineer, I. V. Tananaev Institute of Chemistry and Technology of Rare Elements and Mineral RawMaterials of the Federal Research Centre “Kola Science Centre of the Russian Academy of Sciences”, Apatity, Russia Voronchuk Sergey Ivanovich Leading Engineer, I. V. Tananaev Institute of Chemistry and Technology ofRare Elements and Mineral RawMaterials of the Federal Research Centre “Kola Science Centre of the Russian Academy of Sciences”, Apatity, Russia Yakovleva Nadegda Anatolievna Engineer, I. V. Tananaev Institute of Chemistry and Technology of Rare Elements and Mineral RawMaterials of the Federal Research Centre “Kola Science Centre of the Russian Academy of Sciences”, Apatity, Russia Kuzmich Yuri Vasilievich PhD (Chemistry), I. V. Tananaev Institute of Chemistry and Technology of Rare Elements and Mineral RawMaterials of the Federal Research Centre “Kola Science Centre of the Russian Academy of Sciences”, Apatity, Russia DOI: 10.25702/KSC.2307-5252.2018.9.1.298-302 УДК 621.746.073 : 669.1'25'26'782 РЕЗИСТИВНЫЙ СПЛАВ СИСТЕМЫ Si — Cr — Ni ДЛЯ МИШЕНЕЙ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ В. Г. Коротков, С. И. Ворончук, Н. А. Яковлева, Ю. В. Кузьмич Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им. И. В. Тананаева ФИЦ КНЦ РАН, г. Апатиты, Россия Аннотация Приведены результаты исследований параметров микроструктуры в мишенях из резистивных сплавов Si — 37 % Cr — 10 % Ni, Si — 42 % Cr — 6 % Ni, Si — 54 % Cr — 6 % Ni. Показана возможность изготовления качественных мишеней данного состава методом литья на воздухе. Ключевые слова: резистивный сплав, мишени, микроструктура. THE RESISTIVE SYSTEM ALLOY Si — Cr — Ni FOR THE TARGETS OF MAGNETRON SPUTTERING V. G. Ko ro tkov, S. I. Voronchuk, N. A. Yakovleva, Yu. V. Kuzm ich I. V. Tananaev Institute o f Chemistry and Technology o f Rare Elements and Mineral Raw Materials o f the Federal Research Centre “Kola Science Centre o f the Russian Academy o f Sciences”, Apatity, Russia 298