Труды КНЦ вып.8 (ХИМИЯ И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ вып. 5/2017(8))

показывает неравномерное распределение элементов (особенно иридия) по поверхности исследуемого анода, что может быть связано с шероховатостью покрытия и его неоднородным составом. Рост концентрации титана при снижении содержания других компонентов покрытия говорит об уменьшении толщины исследуемого слоя. Рисунок 2 - Сканирование покрытия по поверхности, диаметр лазерного луча 35 мкм Для послойного анализа покрытия использовали частоту импульсов 5 Гц и диаметр пятна абляции от 155 до 350 мкм. Снижение частоты импульсов позволило регистрировать более тонкие испаренные «слои», а увеличение диаметра лазерного луча дало некоторое усреднение по поверхности (рисунок 3). Анализ выявил наличие слоев с разным элементным составом: верхний слой данного анода содержит, преимущественно, тантал, концентрация которого снижается по глубине, далее появляются слои, содержащие рутений, а затем иридий при возрастающей концентрации титана, что свидетельствует о полном испарении покрытия. А А Рисунок 3 - Послойный анализ при сканировании покрытия в поперечном направлении, диаметр лазерного луча 155 мкм 114