Труды КНЦ вып.5 (ХИМИЯ И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ вып. 5/2015(31))

Следует отметить, что в данном случае метод СЭМ не позволяет наблюдать тонкую структуру отдельных частиц губчатого Ti из-за, во-первых, ограниченных возможностей электронного микроскопа, и, во-вторых, из-за присутствия на поверхности Ti тонкой естественной оксидной пленки Т і0 2, накапливающей заряд и рассеивающей электронный луч (рис. 1 б). На поверхности анодированных образцов ППМ из губчатого Ti в ВСР- (образец № 3) и ГСР-режиме (образец № 6 ) при экспериментально установленных оптимальных параметрах процесса (табл.) наблюдается достаточно однородная нанопористая АОП, характеризующаяся слабоупорядоченной мезоструктурой (рис.2). Рис.2. АСМ- (а, в) и СЭМ-изображения (б, г) участков „оверхности образцов губчатого Ti „осле анодирования в ВСР- (образец № 3) (а, б) и ГСР-режиме (образец № 6 ) (в, г) На поверхности пористого слоя АОП, сформированной в ВСР-режиме (рис.2а, б), наблюдаются выходы разупорядоченных пор диаметром с размерами в диапазоне 25-45 нм. Отмечается неполная открытость пор, ввиду присутствия на поверхности пористого массива остатков тонкого «дефектного» слоя, отражающего состояние барьерного слоя АОП на стадии зарождения пор, что является характерным для одноступенчатого ВСР-анодирования. Анализ профиля поверхности показал, что анодирование образцов губчатого Ti приводит к увеличению шероховатости поверхности образцов. Следовательно, АОП, сформированная на поверхности образцов в ВСР-режиме, имеет более неоднородную и развитую поверхность, чем металл до анодирования. Анализ морфологии поверхности образцов губчатого Ti, анодированных в ГСР-режиме, показал, что поверхность пористого слоя является более однородной по структуре, чем АОП, полученных при ВСР- анодировании. На АСМ-изображениях хорошо видны выходы пор, размер которых dH~ (30-60) нм, т.е. пленки, полученные в ГСР-режиме, характеризуются большей степенью открытости пор, что достаточно хорошо согласуется с данными, полученными методом СЭМ. Остатков верхнего дефектного слоя не наблюдается. Шероховатость поверхности образцов, анодированных в ГСР-режиме, несколько меньше, чем у чистых образцов и анодированных в ВСР-режиме. 378